工作原理
應用範圍
產品特點
技(jì)術參數表
ZF係列電阻蒸發真空鍍膜機 | |||||||
型號 | ZF-600 | ZF-1200 | ZF-1400 | ZF-1600 | ZF-1800 | ZF-2000 | ZF-2200 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM | Φ2000×2200MM | Φ2200×2400MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT6300擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 電阻蒸(zhēng)發專用變壓器、鍍膜(mó)輔助離子專用電源 | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做參考(kǎo),具體均按客戶實(shí)際工藝(yì)要求設(shè)計訂做,可(kě)選擇保護膜(mó)鍍膜功能(néng) |