工作(zuò)原理
應用範圍
產品特點
技術(shù)參數(shù)表
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型(xíng)號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真(zhēn)空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵(bèng)機(jī)組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組 | KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 專用多弧鍍膜電源+多(duō)功能孿生磁(cí)環弧靶+柱形(xíng)弧靶(可選(xuǎn)配) | ||||||
輔助鍍膜係統(tǒng) | 低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係(xì)統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅(jǐn)做參考,具(jù)體均按客戶實際工藝(yì)要求設計訂做 |