當(dāng)前位置:首頁|DN係列多功能真空鍍膜機
工作原理
應用(yòng)範圍
產品(pǐn)特點
技術(shù)參(cān)數表
DN係列(liè)多功(gōng)能真空鍍膜機 | |||||||
型號 | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組(zǔ) | 雙KT1000擴散(sàn)泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 直流電源或中頻電源+多(duō)弧電源+E型電子槍+電阻蒸發舟(zhōu)+霍爾離子源+條形離子(zǐ)源(可選配) | ||||||
輔(fǔ)助鍍膜係統 | 低溫離子輔(fǔ)助(zhù)源(yuán)(除工具鍍外無(wú)需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製係統 | 工業(yè)電腦自動控製(工(gōng)控機)、PYDNB3000膜層在(zài)線編製係(xì)統 | ||||||
控製方式 | 手(shǒu)動、半(bàn)自動、全自(zì)動 | ||||||
抽氣速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計(jì)訂做(可選配進口分子泵機組) |