工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點(diǎn)
技術參數表
SF係列電子束(shù)蒸發(fā)光學真空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴(kuò)散泵(bèng)機組 | KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組 | KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 電子槍蒸發源(yuán)、鍍膜輔(fǔ)助離子專用電源或霍爾(ěr)離(lí)子源 | ||||||
充氣係(xì)統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自動 | ||||||
膜厚監控(kòng)係統 | 石英晶體膜(mó)厚監控係統 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要求設計訂做 |