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PVD 工藝過程

作(zuò)者: 來源: 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5125
PVD 工藝過程
塗層(céng)技術及工藝流程塗層技術及工藝流程塗層技術及工藝流程塗層技(jì)術及工藝流程     1.真空塗(tú)層技術的發展   真空塗層技術(shù)起步時間不長(zhǎng),國際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化學氣相沉積)技術應用於硬質合金刀具上。由於   該技術需(xū)在高溫下進行(工藝溫度高於 1000ºC),塗層種類單一,局(jú)限性很大,因此(cǐ),其發展初期未免差強人意。   到了上(shàng)世紀(jì)七十年(nián)代末,開始出現 PVD(物理氣相沉積) 技(jì)術,為真(zhēn)空塗層開創(chuàng)了一個充滿燦爛前景的新天地,之後在短短的二、三十年間PVD 塗層技術得到迅猛發展(zhǎn),究(jiū)其原因,是因為其在真空密封的腔體內成膜,幾乎無任何環境汙染問題,有利於環保;因(yīn)為(wéi)其能得到光亮、華貴的表麵,在顏色上,成熟的有七彩色、銀色、透明色、金(jīn)黃色、黑色(sè)、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏(yán)色,可謂五彩繽紛,能夠滿足裝飾性(xìng)的各種需要;又由於(yú) PVD 技術,可(kě)以輕鬆(sōng)得到其他方法難以獲得的高硬度、高(gāo)耐磨(mó)性的陶(táo)瓷塗層、複合塗層,應用在工(gōng)裝、模具上麵,可(kě)以使壽命成倍提高,較好地實(shí)現了低成本、高收益的效果(guǒ);此外(wài), PVD 塗層技術具有低溫、高能兩個特點,幾乎可以(yǐ)在任(rèn)何基材上成膜,因此,應用範圍十分廣闊,其發(fā)展神速也就不足為奇。   真空塗層技術發展到了今天還出(chū)現了PCVD(物(wù)理化學氣相沉積)、MT-CVD(中溫化(huà)學氣相沉積)等新技術,各種塗層設備、各種塗層(céng)工藝層出不窮,如今在這一領域(yù)中,已呈(chéng)現出(chū)百花(huā)齊放,百家爭鳴的喜人景象。   與此同時,麻豆app下载入口還應該清(qīng)醒地看到,真空塗層技術(shù)的發展(zhǎn)又是嚴重不平衡的。由於刀具、模具的工作環境極其惡劣,對薄膜附著力的要求,遠高於裝飾塗層。因而,盡管裝(zhuāng)飾塗層的廠家已遍布各地,但能夠生產工模塗層的廠(chǎng)家(jiā)並不多。再加上刀具、模具塗層售後服務的欠缺,到目前為止,國內(nèi)大(dà)多(duō)數塗層設備廠家(jiā)都不能提供完整的刀具塗層工藝技術(包(bāo)括(kuò)前處理工藝、塗層工藝、塗後處理工藝、檢(jiǎn)測技術、塗層刀具和模具的應用技術等),而且,它還要求工藝技術人員,除了精通塗層的專業知識以外,還應具(jù)有紮實的金屬材料(liào)與熱處理知識、工模(mó)塗(tú)層前表麵預處理知(zhī)識、刀具(jù)、模具(jù)塗層的合理選擇以及上機使用的技術   要(yào)求等,如果任一環節出現問題,都會給使用者產生使用效(xiào)果不理想這樣的(de)結論。所有這些,都嚴重(chóng)製(zhì)約了該技術在(zài)刀具、模具上的應用。   另一方麵,由於該技術是一門介乎材料學、物(wù)理學、電子、化學等(děng)學科的新興邊緣學科,而國內將其應(yīng)用於刀具、模(mó)具生產領域內的為數不多的幾個骨幹廠家,大(dà)多走的也是(shì)一條從國外引進(jìn)先進設備和(hé)工藝技術的(de)路子,尚需一個消化、吸收的過程,因此,國內(nèi)目前在該領域內的技(jì)術力量與其發展很不相稱,急需奮起直追(zhuī)。   2. PVD 塗層的基本(běn)概念及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式,意思是物理氣相沉積。麻豆app下载入口現在一般地把真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍等都(dōu)稱為物理氣相沉積。   較為成熟的 PVD 方法主要有多弧鍍與(yǔ)磁(cí)控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設備結構簡單,容易操(cāo)作。它的離子蒸發源靠電(diàn)焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊類似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧(hú)針與蒸發離子源(yuán)短暫接觸,斷開,使氣體放電。由於多弧鍍的成因(yīn)主要是借助於不斷移動的(de)弧斑,在蒸發源表麵上連續形成(chéng)熔池(chí),使(shǐ)金屬蒸(zhēng)發後,沉積(jī)在基體上而得到薄膜層的,與磁控濺射(shè)相比,它(tā)不但有靶材利用率(lǜ)高,更具有金屬離子離化率高,薄膜與基體之間結合力強的優點。此外,多弧鍍塗層顏色較為穩定,尤其是在做 TiN 塗層時,每一批次均容易得(dé)到相同穩定的金黃(huáng)色,令磁控(kòng)濺射法(fǎ)望塵莫及。多弧鍍的不足之(zhī)處是,在用傳統的 DC 電源做低溫塗層條件下,當塗層厚(hòu)度達到0.3μm 時,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難(nán)。而且(qiě),薄膜表麵開始變(biàn)朦。多弧鍍另一個不(bú)足之處是(shì),由於金屬是熔後蒸發,因此沉積顆粒較大,致密度低,耐(nài)磨性比磁控濺(jiàn)射法成膜差。   可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優劣,為了盡可能地發揮它們各自的優越性,實現互補,將多弧技術與磁控技術合(hé)而為一的塗層機應(yīng)運而生。在工藝上出(chū)現了多弧鍍打底,然後利用磁控濺射法增厚塗層,最後再利用多弧鍍達到最(zuì)終穩定的表(biǎo)麵塗層顏色的新方(fāng)法。   大約(yuē)在八十(shí)年代中(zhōng)後期,出現了熱陰(yīn)極電子槍(qiāng)蒸發離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜機,應用效果很好,使TiN 塗層刀具很(hěn)快(kuài)得到普及性應用。其中熱陰極電(diàn)子槍蒸發離子鍍,利用銅坩堝加(jiā)熱融化被鍍金屬材料,利用鉭燈絲給工件加熱、除(chú)氣,利用電子槍(qiāng)增強(qiáng)離(lí)化率,不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 塗層,而且其結合力、耐磨性均有不俗表現,甚(shèn)至用打磨的方法都難(nán)以除去。但(dàn)是這些設備都隻適(shì)合(hé)於 TiN塗(tú)層,或純金屬薄膜。對於多元塗層或複合塗層,則力(lì)不從(cóng)心,難以適應高(gāo)硬度材(cái)料高速切   削以(yǐ)及模具應用多(duō)樣性的要求。   3. 現代塗層設備(均勻(yún)加熱技術、溫度測量技術、非平衡磁控濺射技術、輔助(zhù)陽極技術、中頻電源、脈衝技術) 現代塗層設備主要由真空(kōng)室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入係統、機械傳(chuán)動部分、加熱及測溫部件、離子蒸發或濺射源(yuán)、水冷係統等部(bù)分組成。   3.1 真(zhēn)空室   塗層設備主(zhǔ)要有連續塗層生(shēng)產線及單室塗層機兩種(zhǒng)形式,由於工模塗層對加熱及機械傳動部分有較高要求,而且工模形狀、尺寸千差(chà)萬別,連續(xù)塗層生產線通常難以滿足要求,須采(cǎi)用單室塗層機。   3.2 真空獲得部分   在真(zhēn)空技術中,真空獲得部分是重要組(zǔ)成部(bù)分。由於(yú)工模件塗層(céng)高附著力的要求,其塗層(céng)工藝開始前背景真空度最(zuì)好高於6mPa,塗層工藝結束(shù)後真空(kōng)度甚至可達 0.06mPa 以上,因此合理選擇真空獲得設備,實(shí)現(xiàn)高(gāo)真空度至關(guān)重要。   就目前來說,還沒有一(yī)種泵能從大氣壓一直工作到接(jiē)近超(chāo)高真空。因此,真空的獲得不是一種真空設備(bèi)和方(fāng)法所能達到的,必須將幾種泵聯合使用,如機械泵、分子泵係(xì)統等。   3.3 真空測量部分   真空係統的真空測量部分,就是要對真(zhēn)空室(shì)內(nèi)的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空範圍,人們於是按不(bú)同的原理和要求製(zhì)成了(le)許多種類的真空計。   3.4 電源供給部分靶電源(yuán)主要有直(zhí)流(liú)電源(如(rú) MDX)、中頻電(diàn)源(如美國 AE公司生產的 PE、PEII、PINACAL);工件本身通常需加直流電源(如 MDX)、脈衝電源(如美國AE公(gōng)司(sī)生產的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體輸入係統   工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(quē)(C2H2)、甲(jiǎ)烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體(tǐ)流量計、電磁閥、壓(yā)電閥,然後通入真空室。這種氣體輸入係統的優點是,管路簡捷(jié)、明快,維修或更換氣瓶(píng)容易。各塗層機之間互不影響。也有多(duō)台塗層機共用一組氣瓶的(de)情況,這種情況在一些規(guī)模較大(dà)的塗層車間可能有機會看到。它的好處是,減少氣瓶占用量,統一規劃、統一布局。缺點是,由於接(jiē)頭增多(duō),使漏氣機會增加(jiā)。而且,各塗層機之間會互相幹擾,一台塗層(céng)機的管路(lù)漏(lòu)氣,有可能會影(yǐng)響到其他塗層機的產品質量。此外,更(gèng)換氣(qì)瓶時,必須保證所有主機都處(chù)於非用氣狀態。   3.6 機(jī)械傳動部分   刀具塗層要求(qiú)周邊必須(xū)厚度均勻一致,因此,在塗層(céng)過程中須有(yǒu)三個轉(zhuǎn)動量(liàng)才能滿足要求。即在要求大工件台轉動(dòng)(I)的同時,小的工件承載台也(yě)轉動( II),並且工(gōng)件本身還能(néng)同時自轉(zhuǎn)(III)。   在機(jī)械(xiè)設計上,一般是在大工件轉盤底部中央(yāng)為一大的主動齒輪,周圍是一些小的(de)星(xīng)行輪與之齧合,再用(yòng)撥叉撥(bō)動工件自轉。當然,在做模具塗層時,一般有兩(liǎng)個(gè)轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須大大增強。   3.7 加熱及測溫部分   做工模塗層的時候,如何保證被鍍工件均勻加熱比裝飾塗(tú)   層加熱要重要得多。工模塗層設備一般均有前後兩個加熱器(qì),用熱電偶測(cè)控溫度。但(dàn)是,由於(yú)熱電偶裝夾的為置不同,因而,溫度讀數不可能是工件的(de)真實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方法,這裏介紹一種簡便易行的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫度計的工作原理(lǐ)是,當溫度計受(shòu)熱,底部的彈簧將(jiāng)受熱膨脹,使指針(zhēn)推動定位(wèi)指針旋轉,直到(dào)最高溫度。降溫的時候,彈簧收縮,指針反向旋轉,但定位指針維持在最高溫度位(wèi)置不動,開(kāi)門(mén)後,讀取定位指針指示(shì)的溫度,即為真空室內加熱(rè)時,表(biǎo)麵溫度計放置位(wèi)置所曾達到的(de)最(zuì)高溫(wēn)度值(zhí)。   3.8 離子蒸(zhēng)發及濺射源(yuán)   多弧(hú)鍍的蒸發源一(yī)般為圓餅形,俗(sú)稱圓餅靶,近幾年也出現了長方形的多弧靶,但(dàn)未見有明顯效(xiào)果。圓餅靶裝(zhuāng)在銅靶座(陰極座)上麵,兩者為羅紋連接(jiē)。靶座中(zhōng)裝有磁鐵(tiě),通過前後移動磁鐵(tiě),改變磁場強(qiáng)度,可調整弧斑移(yí)動(dòng)速度及(jí)軌跡。為了降低靶及靶座的(de)溫度,要給靶座不斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間(jiān)的高導電、導熱性,還可(kě)以在靶與靶座之(zhī)間加錫(Sn)墊片。磁控濺射(shè)鍍膜一般采用長方形或圓柱形靶材,   3.9 水冷係統   因為工模塗(tú)層時,為了提高金屬原子(zǐ)的離化(huà)率,各個陰極靶座都盡可能地采用大的功率輸出,需(xū)要充分冷(lěng)卻;而且,工模塗層中的許多種塗層,加熱溫度為 400~500ºC,因此,對真空室壁(bì)、對各個密封麵的冷卻也很重要,所以冷卻水(shuǐ)最好采用18~20ºC 左右的冷水機供水。為了防止開門後,低溫的真空室壁、陰極靶與熱(rè)的空氣接觸析出水珠,在開(kāi)門前 10 分(fèn)鍾左右,水冷係統應有能力切(qiē)換到供熱水狀態,熱水溫度約為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的工作步驟(zhòu)   工模具 PVD 基本工藝流(liú)程可簡述為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別(bié)介紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主要工作除了常規的清點數量   ,   檢查圖紙與實(shí)物是否(fǒu)相符外,還須仔細檢查工件表麵,特別是刃口部位有無裂紋等(děng)缺陷(xiàn)。有時對於一些刀具、刀粒的(de)刃(rèn)口,在體式顯微鏡下觀察,更方便發現問題;另外,IQC 的人員還要注意檢查(chá)待鍍膜件(jiàn)有無塑膠、低熔點的焊料(liào)等,這些東西如果因(yīn)漏檢而(ér)混入鍍膜程序,則將在真空室內嚴重放(fàng)氣(qì),輕(qīng)者造(zào)成整批產品脫塗層,重者使原本 OK 的產品(pǐn)報廢,後果不堪設想。   4.2 前處理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋(pāo)光、清洗)   前處理的目的是淨化或粗化工件表麵。淨化就是要去除各種表麵玷汙物,製備潔淨表麵。通常(cháng)使用(yòng)各種淨化劑,借助機械、物理(lǐ)或化學的方法進行淨(jìng)化。   粗化與光蝕相反,其目的在於製備粗糙的表麵以提(tí)高噴塗層(céng)或塗料裝飾的結(jié)構(gòu)強度。麻豆app下载入口現在已有(yǒu)的前處理主要方(fāng)法為:高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高溫蒸洗   目前,PVD 車間常用的高溫蒸洗設(shè)備是蒸汽(qì)槍。它的最(zuì)大工作溫度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中經常帶有一些細(xì)小孔、螺紋孔,孔內中常(cháng)常有油汙、殘餘冷卻液等雜質,用常規清洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗設備便可最大程度的發揮(huī)它的優越性。   
4.2.2   清洗   各廠工(gōng)模塗層前清洗程序(xù)大致如下:   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除(chú)油→4.過水(shuǐ)→5. 超聲波自換→6.過水→7.過純水→8.強風幹燥   具體實施(shī)時(shí),與麻豆app下载入口所熟(shú)悉的裝飾(shì)塗層前的清洗又有許多不同。這是(shì)因為裝飾塗層的底材大多為不(bú)鏽鋼或鈦合金(jīn),不(bú)容易生鏽。此外,裝飾塗層對水印、點痣等缺陷是絕(jué)對不允許的。因此,裝(zhuāng)飾塗層對純水的(de)水質要(yào)求(qiú)極高,甚至要達到 15MΩ 以上(shàng)。要(yào)保證清洗的高質量,可以通過反複清洗,並在(zài)高質量的純水加超聲波中(zhōng)長時間浸泡來得到。但是,工模的清洗就不同,尤其是一些熱做模具(jù)鋼,如果像裝飾塗層(céng)那樣去(qù)清洗,就會鏽得一塌糊塗。   由於工模塗層的原始表麵狀態,除了一些高標準的鏡麵模具以外,一(yī)般較裝飾塗層要(yào)粗糙,因而,對塗層後的表麵狀態的要求也不象裝飾塗層那樣高,這就允許麻豆app下载入口(men)采取快速過水,用幹燥、無油的壓(yā)縮(suō)空氣吹幹,然後對工(gōng)模強風幹燥的方法來處理。而那(nà)些(xiē)高標準(zhǔn)的鏡麵模具,一般均為136 等不(bú)鏽(xiù)鋼,可以借用裝飾塗層的清洗法。   總而言之,工模塗層前的清洗方(fāng)法因工模所使用的(de)材料的不同而不同,因工(gōng)模塗層前的表(biǎo)麵(miàn)狀態的不同而不同(tóng),且不(bú)可千篇一律。下麵是(shì)幾種材(cái)料生(shēng)鏽由難到易的排序,供參考:
不鏽鋼、硬質合金、金屬陶瓷合金、DC53、高(gāo)速鋼、8407 有一種自動清(qīng)洗機型號為 CR288,產自德國。該機一次最大   清洗量為 80KG,主要用於清(qīng)洗刀具、小型零部件、或小尺寸的模具。它共有三個清洗缸,裏(lǐ)麵的溶(róng)液分別為自來水+清洗劑、自來水(shuǐ)、去離子水。除了常見的超聲(shēng)波、大水衝洗、噴淋、擺動、熱風幹燥等功能外,該(gāi)機另外一個優點是(shì)最後設有抽真空步驟,可以使水分(fèn)盡快揮發掉。   自動清洗機內存十種工藝,均由供方預先設(shè)定。一至九可分別用於不同類型的產品(pǐn)、不同的表麵狀態的淨化處理。第(dì)十種用於加注(zhù)清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法是借助壓縮空氣使磨料強力衝刷工件表麵,從而去除鏽蝕、積碳、焊(hàn)渣、氧化(huà)皮、殘鹽、舊漆(qī)層等表(biǎo)麵缺陷。按磨料使用條件,噴砂分(fèn)為幹噴砂與濕噴砂兩類。   噴砂的工藝參數主要有槍距、傾角、裝夾台旋轉速度、移動速度、行程、往返次數(shù)、噴砂時間、噴砂氣壓。麻豆app下载入口已使用過的參數有槍距(jù):30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾台旋轉速度 10~30;往返次數 3~9 次(cì);噴砂氣壓:1.8~3.5 巴等。具體操作時(shí),根據工件表麵髒汙程度(dù),工件(jiàn)硬度,工件表麵幾何形狀等因素,選取上下限。麻豆app下载入口在幹噴砂機中所選用的磨料為玻璃珠,適合噴一些硬度介中的材料,如(rú)油鋼、模(mó)具等(děng);在液(yè)體噴砂機中所選用的(de)磨料為氧化鋁,硬度較高,適合(hé)噴一些硬度高的材料,如硬質合金(jīn)材料。對於(yú)工模塗層而言,噴砂所使用的磨料(liào)粒(lì)度(dù)也很重要。如果磨料粒度過大,則工件表麵太粗糙;如果磨料粒度太小,又會降低衝擊力度,甚至嵌在工件表麵,清洗難以去除,從而使工件塗層附著力降低。為此,歐洲一些國家,對工(gōng)模塗層前噴砂   所用磨料粒度做過仔細研究,嚴(yán)格到必須保證(zhèng) 85%以(yǐ)上(shàng)的晶(jīng)粒度在中 A、B 兩點範圍內才能使用。相比之下,我國磨料的供應商還缺乏這方麵的共識,麻豆app下载入口也(yě)很少有做這方麵(miàn)的檢驗。   4.3 PVD 塗層工藝(加(jiā)熱、離子清洗、塗層、冷卻、工藝氣體、氣壓、溫度、濺射功率)   4.4 FQC   FQC 的英(yīng)文全拚為:“Function Quality Control”,意思(sī)是(shì)功能質(zhì)量控製,它有別與一般意(yì)義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的(de)內容主要(yào)包(bāo)括外觀檢查、層深檢查、附(fù)著力檢查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查、模擬性測試等方法。我廠目前應用(yòng)的主要有(yǒu)外觀檢查、層深檢查和附著力檢查。由於(yú)麻豆app下载入口(men)所接觸的產品大多都(dōu)是不允許做破壞性檢查的,因(yīn)而麻豆app下载入口在鍍膜時(shí),每批都會放進隨批試樣。做層深檢查(chá)和附著力(lì)檢查的時候,大多數情況下,實(shí)際上是對隨批試樣進行(háng)檢查。因為試(shì)樣與產品在原材料、熱處理狀態、裝夾位置等方麵都難於一致,所以這樣檢測出的結果,與產品實際值會有一定的誤差(chà)。有時可能還會有(yǒu)相當大的誤差,隻能做參考使用(yòng)。當然,必要的時候(hòu),麻豆app下载入口也可以(yǐ)通過製作模擬件,達到準確測量的目的。  
 4.4.1   外(wài)觀檢(jiǎn)
對於開門取件後的產品,應仔細檢查表麵有無裂紋、掉塗層、疏鬆等缺(quē)陷。對於(yú)刀具、刀粒,還需在顯微鏡下仔細檢查它們的刃口狀態。   4.4.2   層深檢查   層深檢查有切片金相觀察法、X-ray 檢查法、用單色光做光源(yuán)的光學測試(shì)法、球(qiú)磨(mó)儀(yí)測試法等多種方法。工模塗層的層深(shēn)檢查是在球(qiú)磨儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨,然後在(zài)顯微鏡下測量磨痕的(de)有關數據,帶入公式(shì)中,即可方便算(suàn)出層深。   這(zhè)種層深(shēn)檢查法的特點是:方便適用,誤差稍大。但這種誤差應用於工模上麵影(yǐng)響不(bú)會太大。有興(xìng)趣的(de)同事還可參閱有關(guān)的說明書。附著力的檢查方法有很多,各個廠根據自己產(chǎn)品的特點,都(dōu)製定了相應的檢測方法。其中,比較權威的方法有兩種,一種是在洛氏硬度計上(shàng),以圓錐型金剛石壓頭做壓痕(hén)試驗,在顯微鏡下觀察,以壓痕周邊裂紋的多少來判斷塗層附著力的高低。該(gāi)方法對(duì)金剛石壓頭的形狀要求很高,不但(dàn)嚴格要求中心點在圓的中心,而且金剛石圓錐的圓度必須十分規則。遺(yí)憾的(de)是,目前,我國還沒有它的國家或行(háng)業標準;另(lìng)一種方法是劃痕法,我國有些塗層發起較早的科研(yán)部門,也是采用的該(gāi)方法(fǎ),有(yǒu)專門的國家行業(yè)標準可供查詢。   5. 工裝夾具的處理(lǐ)   6. 塗後處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋光處理)   7. 檢測技術(結合力的檢測、層深的檢測、酸蝕(shí))   8. 塗層(céng)剝離技術(TiN/TiAlN 的剝離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質合金的表(biǎo)麵塗(tú)層剝離技術)   9.塗層(céng)刀具(jù)的應用技術(塗(tú)層的正確選擇、塗層刀具的正(zhèng)確使用   塗層對刀具的優化非常大,由於高(gāo)速切削加(jiā)工比傳(chuán)統切削加工所產生的溫度要高(gāo),應用塗層,可(kě)以發揮其耐高溫、抗氧化(huà)及加硬材質等作用。例如,氮(dàn)化鉻(CrN)塗層可降低磨擦係數,改善光潔度及排屑情況 



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