油擴散泵的（de）應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現（xiàn）象來排氣的，它具有結（jié）構簡單，操作方（fāng）便，抽速大（最高可（kě）以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴（zuǐ）、導流管和加熱器組成，裏麵主要添加（jiā）擴散泵油（日本的型（xíng）號是D-704#），根據噴嘴的（de）多少可以分為單（dān）級泵和多級泵（bèng）。 

        擴散泵（bèng）底部內儲（chǔ）存有擴散泵油（yóu），上部為進氣口，右（yòu）側旁下部（bù）為出氣口，在工（gōng）作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械泵充當前（qián）置泵。 

        當擴散泵的油（yóu）被電爐加熱時，產生的油（yóu）蒸（zhēng）汽提供前置壓強，機械泵充當前置泵。當擴散泵（bèng）油（yóu）被電爐加熱時，產（chǎn）生的油蒸汽沿著導（dǎo）流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外麵有機械泵（bèng）提供的1-10-1帕的（de）真空（kōng），故（gù）油蒸汽可（kě）噴出（chū）一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上（shàng）由冷卻水冷（lěng）卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的（de）蒸發——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進氣口進入泵內的（de）氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的（de）動量，向下飛去，由於射流具有（yǒu）高的流速（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有（yǒu）高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的（de）界麵內，氣體分子不可能長期滯留，且在射流界麵的（de）兩邊，被（bèi）抽氣體有很大的濃度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不（bú）斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出口處，在（zài）出（chū）口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是（shì）決定泵的極限真空（kōng）的重要因素，因此盡量選用（yòng）飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性（xìng）要好。 

         擴（kuò）散泵不能單獨（dú）用來抽氣，一般要求泵的最大出（chū）口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定於第一級噴嘴與泵體進（jìn）氣口口徑（jìng）間環形麵積的大小，抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴散泵的抽氣速度是最（zuì）快的，當壓強小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能（néng）力（此時，進氣口的壓強較高（gāo），由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高速射流以（yǐ）阻擋空氣的（de）反擴散，所以（yǐ）抽速下降）。 

        擴散泵在安裝前要清洗，之後才可以裝入（rù）擴散油，油在加熱前，必（bì）須要先對（duì）泵抽真空，停機前要（yào）先將擴散（sàn）泵油冷（lěng）卻（què）到60～70攝氏度，才（cái）可以關閉前級抽氣，最後關冷（lěng）卻（què）水。 

       由於油擴散泵是無法杜絕有返油的（de）幾率，那麽沒有辦法保（bǎo）證精密產品的100％純（chún）淨，特別（bié）是半導體行業（yè），所以就有“高真空冷凝（níng）泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝（níng）泵組成的（de）排氣係統不（bú）僅（jǐn）排氣效率極高，而（ér）且有效保證真空腔的清潔（jié），保證產品的質量（避免產品被汙染、增強膜層與基板之間的（de）附（fù）著力），但是其維護成本非常的高，造價昂（áng）貴，所以普及（jí）率（lǜ）沒有油擴散泵廣泛。 

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