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真(zhēn)空鍍膜機器幾(jǐ)種常用的真空計

作者: 來源: 日期:2016-03-25 10:42:02 人(rén)氣:3672
        電阻真空計(又叫皮喇尼真空計): 
        它主要由電熱絲、外殼和支架構成(chéng),主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓(yā)強成正比的方式工作(zuò)的。上麵開口處與(yǔ)被測真空係統相連接,熱絲采用電阻(zǔ)溫度係數大的金(jīn)屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小(xiǎo),因(yīn)此當熱絲加熱電(diàn)流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的(de)電阻就(jiù)增大,用測量熱絲電阻值的大小來間接測量壓強。

         磁控放電真空計: 
        工作原理:在放電開(kāi)始時,由於空間遊離電子向(xiàng)陽極運動(dòng)時,在正交電磁場作用下(xià),電子的軌跡不是直線而是螺旋線(xiàn)前進,又因(yīn)為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰(pèng)上(shàng)陽極,而是穿過(guò)陽(yáng)極,然(rán)後受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打上陽極。由於電子路程大大加長(zhǎng),故碰撞及電離的分子數(shù)增加,使(shǐ)得在較低壓強(10-4帕以下)仍維(wéi)持放電(也稱潘寧放電(diàn))。
         目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY 

          放電管真空計:

         在玻璃管中封入兩(liǎng)個金屬電極,在其上加上數千伏的直流高電壓,在一定(dìng)的壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電(diàn)顏(yán)色來判定其(qí)真空度 。 目前為(wéi)止此種真空計(jì)已經很少使用,因為其誤差大(dà),容易損壞,而且壽命不長。

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