真空鍍膜（mó）機（jī）主要指一類需要在較高真空度下進（jìn）行的鍍膜，具體包（bāo）括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸（zhēng）發和濺射兩種（zhǒng）。真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為（wéi）廣泛（fàn）的設備，對（duì）其操作程序的了解是至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體（tǐ）操作過（guò）程中（zhōng）建議參照以下標注說（shuō）明：

        一、 檢查真空（kōng）鍍（dù）膜（mó）機各操作控（kòng）製開（kāi）關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備（bèi）送電。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升（shēng）起（qǐ）。

        四、安裝固定鎢（wū）螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固（gù）定在轉（zhuǎn）動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理（lǐ）鍾罩內各部（bù）位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟動抽（chōu）真空機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順（shùn）時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空（kōng）表"2"內指針順時針移動，當指針移（yí）動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八（bā）、當低真空表"2"內指針（zhēn）再次順時針（zhēn）移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這（zhè）時左旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位置。

        九、 真空鍍膜機開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

        十、低壓（yā）閥（fá）拉出。重複一次⑦動作程序:左下（xià）旋鈕（niǔ）"1"轉至指向2區段測量位置。低真（zhēn）空表"2"內指針順時（shí）針移動，當（dāng）指針移動至（zhì）6.7Pa時，開高壓閥(閥杆順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指（zhǐ）針右移動至0.1Pa時（shí），開規管燈絲開（kāi）關。

                1）發（fā）射、零點測（cè）量鈕"9"旋轉（zhuǎn）至指向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        十（shí）二、 旋轉發射調節（jiē）鈕"4"，使高壓真空表"5"內指（zhǐ）針指向5。

        十（shí）三、 發射、零（líng）點、測量旋鈕"9"旋轉（zhuǎn）至（zhì）指向（xiàng）零點位置。

        十（shí）四（sì）、旋轉零點調節鈕"10"，讓高壓真（zhēn）空表"5"內指針指（zhǐ）向0位置。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位置。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十（shí）七、旋轉"倍加器"開關（guān）鈕"8"至（zhì）指向10-12，當高壓真空表"5"內（nèi）指針逆時針（zhēn）左移（yí）超過1時，再把（bǎ）"倍加器"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空（kōng）表"5"內（nèi）指針逆時針移動（dòng）超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插（chā）入蒸發電極分（fèn）配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪（lún），慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開（kāi）鎢螺旋（xuán）上方擋板。

                  3）鋁（lǚ）絲全部熔化蒸發，擋板回原位（wèi）。

                  4）右手旋轉調（diào）壓器手（shǒu）輪回零（líng）位。第一次蒸鍍工作完成。

        二（èr）十一、 如果再想蒸鍍一（yī）次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞（sāi）撥（bō）出插（chā）入另一個電極分配孔。重（chóng）複⑳操作動作（zuò）。

        二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關（guān）閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低（dī）壓閥拉出。鍾罩充氣。充氣（qì）一段時間，當沒有（yǒu）氣.聲時，升鍾（zhōng）罩。

        二十四、鎢螺旋加熱（rè）子內加鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵向（xiàng）下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊固在轉動圓盤上（shàng）。

        二十五、 落（luò）鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置（zhì） 。

                    2）當（dāng）低壓真空（kōng）表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量（liàng）位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順（shùn）時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋（xuán）鈕"1"旋轉至（zhì）指向2區段（duàn）測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作至（zhì）⑳ 。

        二十六（liù）、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真（zhēn）空測量，關閉規（guī）管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後（hòu），先讓機械泵啟動工（gōng）作3~5min後，再轉入正常生產（chǎn）。