磁控濺射膜常見故障的排除

膜層灰（huī）暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低於 99．9％。應換用純度（dù）為 99．99％的氬氣（qì）。

(3)充氣係統漏氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現象。

(4)底漆未充分固化。應適當（dāng）延長底漆的固化時間。

(5)鍍件放氣量太大。應進行幹燥和封孔處理 膜（mó）層表麵光（guāng）澤暗淡

(1)底漆固化不良或變（biàn）質。應適當延長底漆的固化時間或更換底漆。

(2)濺射時間太長。應適（shì）當縮短。

(3)濺射成膜速度太快。應適當（dāng）降低濺射電流或電壓

膜層色（sè）澤不均

(1)底漆噴塗得不均勻。應改（gǎi）進底漆的施塗方法（fǎ）。

(2)膜層太薄。應適當提高濺射速度或延長（zhǎng）濺射時間（jiān）。

(3)夾（jiá）具設計不合理。應（yīng）改進夾具設計（jì）。

(4)鍍件的幾何形狀（zhuàng）太複雜。應適當提高鍍件的旋轉速度

膜層發皺、龜裂

(1)底漆噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的（de）粘度太高。應適當降低。

(3)蒸發速度太快（kuài）。應適當減慢。

(4)膜層太（tài）厚（hòu）。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件溫度太高（gāo）。應適當縮短對鍍件的加（jiā）溫時間

膜層表麵有水跡、指紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未（wèi）充分（fèn）幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或（huò）唾液。應加（jiā）強文明（míng）生產，操作者（zhě）應帶口罩。

(3)塗底（dǐ）漆後手接（jiē）觸過鍍件，表麵留下（xià）指紋。應嚴禁用手接觸鍍件表麵。

(4)塗料中有顆粒物。應過濾塗料（liào）或更（gèng）換塗料。

(5)靜電（diàn）除塵失效或（huò）噴塗和（hé）固化環（huán）境中有（yǒu）顆粒灰塵。應更換除塵器（qì），並保持工作環境的清潔

膜層（céng）附著力不良

(1)鍍件除油脫脂不徹底。應加強鍍前（qián）處理。

(2)真空室內不清潔。應清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手 或不（bú）幹淨（jìng）的物體與磁控源接觸，以保證（zhèng）磁（cí）控源具有（yǒu）較高的清潔度，這（zhè）是提高膜層結合力的 要措施之一。

(3)夾具不清潔。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料。

(5)濺射工藝（yì）條件控製不當。應改進濺射工藝（yì）條件（jiàn）