CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣(qì):65378

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作(zuò)原理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用(yòng)荷(hé)能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體(tǐ),從而引起物體(tǐ)表麵原子從母體中逸出的現象。早(zǎo)在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控(kòng)濺射靶(bǎ)采用(yòng)靜止電磁場,磁場(chǎng)為(wéi)曲線形,均勻電場和對數電場(chǎng)則分別用(yòng)於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的能(néng)量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作(zuò)用下,加速飛(fēi)向陰(yīn)極(濺射靶)並以高能(néng)量轟(hōng)擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩(wán)具、車燈反光罩、手機按鍵外殼(ké)以及儀器儀表、塑料(liào)、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及(jí)工(gōng)模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領(lǐng)域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上(shàng)獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在(zài)基片上形成一層濺射(shè)原子與基片原子(zǐ)相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可(kě)以使用不同的(de)材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子(zǐ)輔助源,無需加熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能(néng)省電,提高產(chǎn)能。

技術參數表

CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散(sàn)泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散(sàn)泵機(jī)組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機(jī)組(zǔ)
鍍膜係統直流或(huò)中頻電(diàn)源、鍍膜輔助離子專用電源
充氣係統質量(liàng)流量計質量流量計質量流量計質量流(liú)量計質(zhì)量流量計質量流量(liàng)計質量(liàng)流量計
控製方式手(shǒu)動或全(quán)自動手動或全自動手動或全自動手動(dòng)或全自(zì)動手(shǒu)動或(huò)全自動手動或全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注(zhù)以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工(gōng)藝要求(qiú)設計訂做
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