SF係(xì)列電子(zǐ)束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:22855
SF係列電子束蒸(zhēng)發光學真(zhēn)空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜(mó)材(cái)中的原子或分(fèn)子從表麵汽化逸出後入射到(dào)基片表麵凝結(jié)成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流(liú)密度大、蒸發速度快,製(zhì)成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可(kě)鍍製層數較多的(de)短波(bō)通、長波通、增透膜、反射膜、濾(lǜ)光膜(mó)、分光膜、帶通膜、介質膜、高(gāo)反膜、彩色反射膜(mó)等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係(xì)鍍(dù)膜,也能滿(mǎn)足如汽(qì)車反光玻(bō)璃、、眼(yǎn)鏡片(piàn)、光學(xué)鏡頭、冷光杯(bēi)等產品的鍍膜要求(qiú)。配置(zhì)不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多(duō)種膜係(xì),對金屬、氧(yǎng)化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜(mó)厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對整個工作過程的自(zì)動控製,工作效率和產品(pǐn)質量重複性一致(zhì)性優(yōu)良.
2)適(shì)用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使用。

技(jì)術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空(kōng)鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統(tǒng)電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強(qiáng)控製(zhì)儀
控(kòng)製方式手動或半自動(dòng)
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設(shè)備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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