CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜(mó)機
日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:65380
CJ係(xì)列(liè)磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機的磁(cí)控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體(tǐ),從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止(zhǐ)電磁場,磁場為曲線形(xíng),均勻電場和對數電場(chǎng)則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電(diàn)子在電場作用下,加(jiā)速飛向基(jī)片的過程中(zhōng)與(yǔ)氬原子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的(de)能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺(jiàn)射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑(sù)料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和(hé)重複性好。能夠(gòu)可靠的鍍製預(yù)定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以(yǐ)在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強。部(bù)分高能量的濺射原子產生不同程(chéng)度的注入現象,在基片上形成一層濺射原(yuán)子與基片原子(zǐ)相互溶合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊(shū)材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿(fǎng)金(jīn)膜;
4)、膜(mó)層(céng)純度高,濺射膜(mó)層中(zhōng)不會混入坩鍋加熱(rè)器材料的成份(fèn)。
5 )、裝備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組(zǔ) | KT500擴散泵機組 | KT800擴(kuò)散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 直(zhí)流(liú)或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電(diàn)源 |
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 |
極限(xiàn)真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 |