CJ係列磁控濺射真(zhēn)空鍍膜(mó)機

日(rì)期:2016-01-16 13:28:37 人氣:65380

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理(lǐ)

CJ係(xì)列(liè)磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機的磁(cí)控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是用荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體(tǐ),從而引起物體表(biǎo)麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用靜止(zhǐ)電磁場,磁場為曲線形(xíng),均勻電場和對數電場(chǎng)則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電(diàn)子在電場作用下,加(jiā)速飛向基(jī)片的過程中(zhōng)與(yǔ)氬原子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的(de)能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺(jiàn)射靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩(zhào)、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑(sù)料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和(hé)重複性好。能夠(gòu)可靠的鍍製預(yù)定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以(yǐ)在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強。部(bù)分高能量的濺射原子產生不同程(chéng)度的注入現象,在基片上形成一層濺射原(yuán)子與基片原子(zǐ)相互溶合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊(shū)材料的薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿(fǎng)金(jīn)膜;
4)、膜(mó)層(céng)純度高,濺射膜(mó)層中(zhōng)不會混入坩鍋加熱(rè)器材料的成份(fèn)。
5 )、裝備低溫離子輔助源(yuán),無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組(zǔ)KT500擴散泵機組KT800擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組
鍍膜係統直(zhí)流(liú)或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電(diàn)源
充氣(qì)係統質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量(liàng)計(jì)質量流量計質量流量計
控製方式手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手(shǒu)動或全自動手動或全自動
極限(xiàn)真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要(yào)求設計訂做
友(yǒu)情鏈(liàn)接: 三菱伺服電機  鐵件鍍錫  粉塵檢測儀  鋼筋桁(héng)架樓承板  環氧自流平施(shī)工  紅木家具  法蘭盤  水穩(wěn)攪拌站  端子截麵分析儀  鈹銅板 
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