當(dāng)前位(wèi)置:首頁|SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機
工作原理
應用範(fàn)圍
產品特點
技術參數表
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或(huò)霍爾離子源 | ||||||
充氣係(xì)統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或半自動 | ||||||
膜厚監控係統 | 石英晶體膜厚監控係(xì)統 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做 |