質量(liàng)流量計,即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表,
其測量值不因溫度(dù)或壓力的波動而失準,不需(xū)要溫度(dù)壓力補償。
質量流量控製器,即Mass flow controller(縮寫為MFC),不但具有質量(liàng)流量計的功能,
更重要(yào)的是,它能自動控製氣體流量,即用(yòng)戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,
即使係統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。
簡單地說,質量流量控製器就是一個穩定裝(zhuāng)置,是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控製的氣體穩流裝置。