低真空的獲得
獲得低真空常采用(yòng)機械泵(bèng),機械泵是運用機械(xiè)方法不(bú)斷地改變泵(bèng)內吸氣空腔的體積(jī),使被抽容器內(nèi)氣體的(de)體積(jī)不斷膨脹,從而獲得真空的裝置。
它可以直接在大氣壓下(xià)開始工作,極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率(lǜ)與轉速及空腔體積V的大小有關,一般(bān)在每秒幾升到每秒幾十升之間。
高真空的獲得
目前,廣泛使用的獲得高真空的泵就是擴散泵。擴散(sàn)泵是利用(yòng)氣體擴散現(xiàn)象來抽氣的,它不能直接在大氣壓下工作,而需要一定的預備真空度(1.33-0.133Pa)。
油擴散泵的極限真空度主要取決於油蒸汽壓和氣體分(fèn)子的反擴散,一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相關,每(měi)秒幾升--幾百升不等。