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真(zhēn)空(kōng)鍍膜機的真(zhēn)空室形變的檢測

作(zuò)者: 來源: 日期(qī):2016-01-12 16:23:06 人氣:3346
    為盡量減(jiǎn)小真空鍍膜機真空室形變(biàn)帶來的影響,麻豆app下载入口將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上,其與(yǔ)真空室底壁之間采用點、線、麵活性支撐,以吸收和隔離形變,並設(shè)置形變補償調(diào)節(jiē)機構,在(zài)係(xì)統抽真空前,參照有限元計(jì)算提供的理論數據預設適當(dāng)的補償量,以使(shǐ)其在真(zhēn)空狀態下達到平衡。而這樣的真空(kōng)設(shè)計也使得現在的(de)真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行,防止外界(jiè)因素的影響。
    而為了驗證有限元計算的結(jié)果,對真空室的(de)形(xíng)變和(hé)補償進行了測試(shì)。首先將四隻千分表定位在工作台安裝(zhuāng)基點的真空壁外側,當真(zhēn)空(kōng)室由大氣抽到真空時,記錄(lù)各千分表的變化量,經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補償。由水平調整的(de)自準直儀發出(chū)一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定於工(gōng)作台上(shàng)的反射鏡,在大(dà)氣環境下(xià)調整形變補償調節機構(gòu),使反射光束進入自準直儀接收視場,記錄(lù)兩維角度偏差。這(zhè)些數據之後需要對其(qí)進(jìn)行(háng)分(fèn)析處理,得(dé)到測試結(jié)果。
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