如何掌控(kòng)真空鍍(dù)膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:1216
如何掌(zhǎng)控(kòng)真空鍍膜的均勻性
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1、測試設備的抽真空速度,在測試過程(chéng)中檢查漏氣(qì)情況與各真空(kōng)泵的(de)性能;
2、測試設備的密封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達(dá)標,同時排除(chú)細小的(de)漏孔;
3、產(chǎn)品(pǐn)試作,檢驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保(bǎo)證的話就繼續打(dǎ)樣並作測試。
5、所有的測試應作記錄(lù),並有記錄人簽字以(yǐ)及有使用部門或工程部門的(de)人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不(bú)同分為很多種(zhǒng)類(lèi),僅僅因為都需(xū)要高真空度而擁(yōng)有統一名稱(chēng)。所以對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。並且均勻性這個概念本身(shēn)也會隨(suí)著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下麵(miàn)分別(bié)說一下:
均(jun1)勻性主要體現在3方(fāng)麵:
1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上(shàng)看(也就是1/10波長作為單(dān)位,約為100A),真空(kōng)鍍膜的均勻(yún)性(xìng)已經相當好,可(kě)以輕鬆將粗糙度控製在可見光(guāng)波長的1/10範圍內,也就是(shì)說對於多(duō)弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說(shuō)要實現10A甚至1A的表麵平整,是(shì)現在(zài)真(zhēn)空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻(yún)特(tè)性,SiTiO3薄膜,如果濺(jiàn)控濺射鍍膜機(jī)過程不科學,那(nà)麽實(shí)際表麵的組(zǔ)分並(bìng)不是(shì)SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍(dù)膜的技術含量所在。
3、晶格有(yǒu)序度的均勻性:這決定了薄(báo)膜是(shì)單晶(jīng),多晶,非晶,是真空(kōng)鍍膜技(jì)術中的熱點問題。
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