工作原理
應用範圍(wéi)
產品特點
技術參數表(biǎo)
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空(kōng)室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT500擴散泵(bèng)機組 | KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵(bèng)機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 專用多(duō)弧鍍(dù)膜電源(yuán)+多功(gōng)能孿生(shēng)磁環弧靶+柱(zhù)形弧靶(可選配) | ||||||
輔助鍍(dù)膜係統 | 低溫離子輔(fǔ)助源(除工具鍍外(wài)無需加溫係統) | ||||||
充(chōng)氣係(xì)統 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或(huò)全(quán)自(zì)動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體(tǐ)均按客戶實際工藝要求設計訂做 |