工作原理
應用範(fàn)圍
產品特點
技術參數表
HL係列多弧離子真空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空(kōng)室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統(tǒng) | 專(zhuān)用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選配) | ||||||
輔助鍍膜(mó)係統 | 低溫離子輔助源(除工具鍍(dù)外無需(xū)加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量(liàng)計(jì) | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製(zhì)方式 | 手動(dòng)或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動(dòng) | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參(cān)考,具體均(jun1)按客戶實際工藝要(yào)求設(shè)計訂做 |